基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱：上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-03-12

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。

產(chǎn)品特性Product characteristics

專業(yè)儀器設(shè)備與測(cè)試方案供應(yīng)商——上海堅(jiān)融實(shí)業(yè)有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅(jiān)友（上海）測(cè)量?jī)x器有限公司JETYOO INSTRUMENTS，為原安捷倫Agilent【現(xiàn)是德KEYSIGHT】品牌技術(shù)經(jīng)理-堅(jiān)JET與吉時(shí)利KEITHLEY【現(xiàn)泰克Tektronix】品牌產(chǎn)品經(jīng)理-融YOO于2011年共同創(chuàng)辦，專注工業(yè)測(cè)試領(lǐng)域十六年，志在破舊立新！*進(jìn)口儀器設(shè)備大多數(shù)廠家僅在國(guó)內(nèi)設(shè)銷售點(diǎn)，但技術(shù)支持薄弱甚至沒有，而代理經(jīng)銷商也只做商務(wù)，不做售前技術(shù)支持/測(cè)試方案和售后使用培訓(xùn)/維修校準(zhǔn)的空白。我們的技術(shù)型銷售均為本科以上學(xué)歷，且均有10年以上測(cè)試行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，以我們*進(jìn)*的經(jīng)營(yíng)理念，與客戶互惠互利合作雙贏，重在協(xié)助用戶采購(gòu)與技術(shù)工程師的工作，提供較有競(jìng)爭(zhēng)力的供應(yīng)鏈管理與售前售后技術(shù)支持。堅(jiān)融實(shí)業(yè)——一家致力于為祖國(guó)用戶提供上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)儀器設(shè)備、測(cè)試方案、技術(shù)培訓(xùn)、維修計(jì)量全面服務(wù)的儀器設(shè)備綜合服務(wù)商。

上海蘇州杭州合肥南京高低溫真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用

2至6英寸樣品臺(tái)

高真空腔體

防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好

77K-675K高低溫環(huán)境

兼容IV/CV/RF測(cè)試

外置多探針臂，移動(dòng)行程大

經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無縫升級(jí)

極低溫測(cè)試

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。

腔體規(guī)格

樣品臺(tái)尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸

真空度：10-6torr

探針臂接口：4~6個(gè)探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦/制冷機(jī)

溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K

溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K

穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K

外形：880mm長(zhǎng)*880mm寬*600mm高/980mm長(zhǎng)*980mm寬*600mm高

重量：約100千克/120千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：水平360度轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂

X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm*50mm*50mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度：10微米/1微米

線纜：同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

頻率支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

其他組件

真空組件

分子泵組/機(jī)械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)

可選附件

超高溫配件

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

高壓測(cè)試配件

分子泵組

激光系統(tǒng)

氣敏測(cè)試配件

上海蘇州杭州合肥南京高溫加熱探針臺(tái)系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用

最大可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

可滿足500度高溫測(cè)試

溫度穩(wěn)定性高

兼容IV/CV/RF測(cè)試

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單合理，操作方便

探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制

臺(tái)體規(guī)格

樣品臺(tái)尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸

X-Y移動(dòng)精度：10微米/1微米

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置8個(gè)探針座

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

溫度范圍：室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度

溫控精度：1度/0.1度/0.01度

穩(wěn)定性：±1度/±0.1度

外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高/840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高

重量：約30千克/60千克/100千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

水冷裝置

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

高壓測(cè)試配件

顯微鏡快速傾仰裝置

激光系統(tǒng)

探針卡夾具

上海蘇州杭州合肥南京高低溫探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)/應(yīng)用

最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜

優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量

可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡

可搭配多種類型顯微鏡

結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無縫升級(jí)

探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。

臺(tái)體規(guī)格

樣品臺(tái)尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸

X-Y移動(dòng)精度：10微米/1微米

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，最多可放置8個(gè)探針座

背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

溫度范圍：室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度

溫控精度：1度/0.1度/0.01度

穩(wěn)定性：±1度/±0.1度

外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高/840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高

重量：約30千克/60千克/100千克

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器

X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

加熱臺(tái)

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤

光電測(cè)試配件

高壓測(cè)試配件

顯微鏡快速傾仰裝置

激光系統(tǒng)

探針卡夾具