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基礎信息Product information
產品名稱：碳化硅SiC、氮化鎵GaN、IGBT曲線參數測試儀
產品型號：
更新時間：2025-03-12
產品簡介：
碳化硅SiC、氮化鎵GaN、IGBT曲線參數測試儀，適用于MOSFET、CMOS，IGBT，三極管，二極管等材料、工藝和半導體器件電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 特性測試。日本巖崎IWATSU半導體特性曲線圖示儀3KV-15KV，400A-8000A；CS-3300，CS-3200，CS-5400，CS-5300，CS-5200，CS-10800
產品特性Product characteristics
專業儀器設備與測試方案供應商——上海堅融實業有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 堅友（上海）測量儀器有限公司JETYOO INSTRUMENTS，為原安捷倫Agilent【現是德KEYSIGHT】品牌技術經理-堅JET與吉時利KEITHLEY【現泰克Tektronix】品牌產品經理-融YOO共同創辦，專注工業測試領域十六年，志在破舊立新！*進口儀器設備大多數廠家僅在國內設銷售點，但技術支持薄弱甚至沒有，而代理經銷商也只做商務，不做售前技術支持/測試方案和售后使用培訓/維修校準的空白。我們的技術型銷售均為本科以上學歷，且均有10年以上測試行業經驗，與客戶互惠互利合作雙贏，重在協助用戶采購與技術工程師的工作，提供較有競爭力的供應鏈管理與售前售后技術支持。堅融實業——一家致力于為祖國用戶提供儀器設備、測試方案、技術培訓、維修計量全面服務的儀器設備綜合服務商。
碳化硅SiC、氮化鎵GaN、IGBT曲線參數測試儀，適用于MOSFET、CMOS，IGBT，三極管，二極管等材料、工藝和半導體器件電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 特性測試。
日本巖崎IWATSU半導體特性曲線圖示儀3KV-15KV，400A-8000A；CS-3300，CS-3200，CS-5400，CS-5300，CS-5200，CS-10800適用于碳化硅SiC、氮化鎵GaN、IGBT、二極管，晶體管，場效應管 MOS-FET， 可控硅 SCR，達林頓陣列，光電耦合，壓變電阻 VARISTOR，繼電器 RELAY 等半導體器件反向 恢復特性，短路特性，雪崩測試，結電容/電阻測試，漏電參數，擊穿參數，增益參數，導 通參數，混合參數，電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 特性測試。
日本IWATSU Curve Tracer CS-3300圖示儀是曲線圖示儀, 可以支持Z大峰值從3,000V/400A至15,000V/8,000A. CS系列不僅適用于高電壓或高電流功率器件 (如 IGBT 和功率 MOSFET) 的特性測試, 還可用于各種半導體器件 (如晶體管, 二極管和 LED) 的特性測試, 及電力電子器件 (如 SiC 和 GaN) 的電容測試 (選件 CS-603A/CS-605A). 測試結果可以存儲在內存中, 或通過標配的USB 端口和 LAN 接口被發送到 PC.
產品特點
顯示屏: 8.4″ 彩色TFT液晶顯示屏
正確測試半導體如IGBTs, MOSFETs, 晶體管和二極管的Z佳解決方案
采用電路圖模式顯示內部的配線狀態 (CONFIGURATION), 更好地避免模塊測試時的誤操作(附圖)
WAVE模式: 能確認實際印加電流和電壓波形的監察模式 (附圖)
可以像示波器一樣通過觀察模塊上實際印加電流和電壓的波形來確定脈寬和實際測試點 (Timing)
可通關確認實際波形, 適時調整脈寬和測試點
避免示波器的探棒影響, 可確認實時的異常信號
可非常容易地確認模塊發熱等引起的振蕩等熱異常情況
可實現SiC和GaN等器件的電容測試 (選件CS-603A/CS-605A)
可實現晶圓和芯片上的電容測試 (探針臺和選件CS-603A/CS-605A)
標配LAN和USB接口
日本IWATSU Curve Tracer CS-3300圖示儀產品應用
適用于高電壓或高電流功率器件 (如IGBT和功率MOSFET) 及半導體器件 (如晶體管, 二極管和 LED) 的特性測試
電力電子器件 (如 SiC和GaN) 的電容測量 (選件CS-603A/CS-605A)
可實行晶圓和芯片上的電容測試 (探針臺和選件CS-603A/CS-605A)
靜態特性測試包括漏電流, 飽和電壓, VF和Vth (附圖)
傳輸特性 (Vge-Ic/Vge-Vce) 和電路模塊的測試功能
器件測試
可以在短時間內執行多個器件的測試和記錄. 操作員只需根據器件替換和連接更改來輸入樣本名稱, 以重復相同的測試. 在既定條件下判斷 (通過/失敗) 將顯示每個測試與圖像和波形數據也將自動存儲(附圖)
半導體溫度特性測試評估
CS-810控制加熱板. 儘管測試需要很長的時間 (如溫度測試), 仍可自動執行 (附圖)
痠勞測試
在痠勞測試中可以包含各種各樣的參數. CS-810 軟件支持長時間可靠性測試. 通過曲線圖示CS-810監察電壓和電流, 那些曲線的區別能被記錄下來. 痠勞測試可以實現多種參數的自動測量. 偏置會停止超越電流或電壓的限制值并以此設定為下限和上限的極限值. CS-810 軟件測量 Ic 或 Vce (區間: 10s 至 2h) 和保持一定的電壓或電流 (10s 至 1,000h) (附圖)
與探針臺共用時, 可實現晶圓測試 (附圖)
碳化硅SiC、氮化鎵GaN、IGBT曲線參數測試儀產品功能
電子電力元件或器件測試波形特性的功能顯示 (附圖)
配備選件 CS-603A (3kV) 或 CS-605A (5kV), 可實現電子電力器件如SiC和GaN等的電容測試
在3kV (CS-603A)/5 kV (CS-605A) 作自動與掃描電容測試
曲線圖示儀的測試適配器可用于各種器件封裝類型
測試參數包括:
Cies, Ciss (輸入電容)
Coss (輸出電容)
Cres, Crss (反向傳輸電容)
Ct (端子間的電容)
Cgs, Cge/Cgd, Ccg/Cds, Cce (已計算)
Rg (柵極電阻)
可實行晶圓和芯片上的電容測試 (探針臺和選件CS-603A/CS-605A)
具有外部聯鎖功能的恒溫箱高低溫試驗
與電腦全自動化結合
CS-810半導體參數測試軟件 (選件)
通過對主機的遠程控制, 可實現各種自動測試的軟件. 傳統上通過曲線圖示儀難以進行的疲勞測試. 加熱實驗或同時控制恒溫箱進行多溫度點實驗都可使用本軟件來實現 (附圖)
USB 存儲器
圖像: 數據和設置條件
格式: TIFF, BMP, PNG保存格式 (背景可選擇為黑色或白色, 彩色或單色)
波形數據: 文本文件和二進制文件
遠程控制工具
如因保密需要而冇法使用USB存儲器時, 可以通過安裝在PC的遠程控制工具進行數據存取
以太網
標準配置 (主機背面)
測試點數可調整.可根據需要的掃描速度及分辨率來設置. 根據不同用途可改變掃描方向. 同時具有客戶功能, 可以僅對某一段進行掃描, 特別是在自動測試時可以實現高速且高分辨率的測試(附圖)
用戶友好的測量屏幕
圖形配置屏幕 晶體管V-I特性示例（跟蹤模式）
圖形配置選擇 晶體管I-V特性示例（Trace模式）
大電流脈沖模式（波模式）下的Vbe和Ic波形
高電流脈沖模式（波模式）下的Vbe和Ic波形
IWATSU半導體特性曲線圖示儀CS-3100，CS-3200，CS-3300規格參數指標
項目 | CS-3100 | CS-3200 | CS-3300 | ||||||||||||||||||||
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模式 | 高電壓 | AC、±全波整流、± DC、±LEAKAGE | |||||||||||||||||||||
大電流 | - | 脈沖 | |||||||||||||||||||||
zui大峰值功率 | 120 mW、1.2 W、12 W、120 W、390 W *可以選擇390 W（不含3000 V范圍下的zui大峰值電壓設置）。 | ||||||||||||||||||||||
- | 大電流模式（400 W、4 kW） | 大電流模式（400 W、4 kW、10 kW） | |||||||||||||||||||||
高電壓模式 |
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環路校正 | 測試臺的集電極引腳與接地之間的雜散電容由高電壓模式下的硬件提供補償，還可提供數字補償。 | ||||||||||||||||||||||
大電流模式（脈沖） | - |
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脈沖寬度/測量點 | - | 脈沖寬度可在50 - 400 μs范圍內變化。 可以測量點（分辨率為10 μs/步進）。 | |||||||||||||||||||||
數據點上限 | 每次跟蹤可以20 - 1000個點。 | ||||||||||||||||||||||
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電流模式 | 幅度范圍：50 nA - 200 mA，共21個范圍，步進為1-2-5 zui大電流：±2A/偏移：步進幅度設置的±10倍 | ||||||||||||||||||||||
電壓模式 | 幅度范圍：50 mV - 2 V，共6個范圍，步進為1-2-5 zui大電壓：±40V/偏移：步進幅度設置的±10倍 | ||||||||||||||||||||||
步進率 | 梯形波：50 Hz或60 Hz的2倍 （AC模式下為50 Hz或60 Hz） | 梯形波：50 Hz或60 Hz的2倍（AC模式下為50 Hz或60 Hz） 脈沖：脈沖變化范圍為80ms - 1000 ms。 （zui低頻率受zui大峰值功耗設置限制。） | |||||||||||||||||||||
脈沖步進 | 脈沖寬度可在50μs - 400 μs范圍內變化（分辨率為10μs）。 | ||||||||||||||||||||||
步進數 | 0 - 20步 | ||||||||||||||||||||||
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范圍 | 關閉，-40V - +40 V，按100mV分辨率變化 | ||||||||||||||||||||||
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集電極電流 | 范圍 | 高電壓模式：1 μA/div - 2 A/div，共20個范圍，步進為1-2-5。 | |||||||||||||||||||||
- | 高電流模式：100 mA/div - 50 A/div，共9個范圍，步進為1-2-5。 | 高電流模式：100 mA/div - 100 A/div，共10個范圍，步進為1-2-5。 | |||||||||||||||||||||
精度 | 2%讀數 + 0.05 × VERT/div設置值或更低（下面的內部環路校正錯誤必須加至左邊的公式中。） 3 kV范圍：6 μA、300 V 范圍：1 μA, 30 V 范圍：0.5 μA（僅針對各電壓范圍面積的10%或以上。） | ||||||||||||||||||||||
發射極電流（泄漏） | 范圍 | 1 nA/div - 2 mA/div，共20個范圍，步進為1-2-5 | |||||||||||||||||||||
精度 | 2%讀數+ 0.05 × VERT/div設置值 + 1 nA 或更低 | ||||||||||||||||||||||
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集電極電壓 | 范圍 | 高電壓模式：50 mV/div - 500 V/div，共13個范圍，步進為1-2-5 | |||||||||||||||||||||
- | 高電流模式：50 mV/div - 5 V/div，共7個范圍，切換步進為1-2-5 | ||||||||||||||||||||||
精度 | 2%讀數 + 0.05 × HORIZ/div 設置值或更高 | ||||||||||||||||||||||
基極/發射極電壓 | 范圍 | 50 mV/div - 5 V/div，共7個范圍，步進為1-2-5 | |||||||||||||||||||||
精度 | 2%讀數 + 0.05 × HORIZ/div 設置值或更高 | ||||||||||||||||||||||
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監視器 | 8.4英寸彩色TFT液晶屏（SVGA 800 x 600像素） | ||||||||||||||||||||||
數據保存/讀取 | 內置：存儲器（設置：256，REF波形： 4） 外置：移動存儲器（連接至USB端口） （設置、波形保存/再調用、屏幕硬拷貝） | ||||||||||||||||||||||
USB | 1個端口(USB1.1) | ||||||||||||||||||||||
遠程控制 | 通過局域網進行遠程控制：1個端口(100BASE-TX) | ||||||||||||||||||||||
電源/功耗 | 電源輸入范圍：100 - 240 V AC， 50/60 Hz 功耗：500 VA | ||||||||||||||||||||||
配件 | CS-301（S型測試臺）、 CS-500（測試適配器）、 操作手冊、 電源線 | CS-302（M型測試臺）、 CS-500（測試適配器）、 線束、 操作手冊、 電源線 | |||||||||||||||||||||
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尺寸(mm) | 424 (長) x 555.2 (寬) x 221 (H)（不含外部凸出部分） | 424 (長) x 555.2 (寬) x 354.5 (H) （不含外部凸出部分） | |||||||||||||||||||||
重量 | 約30 kg（不含選配件） | 約45 kg（不含選配件） | |||||||||||||||||||||
環境條件 | 工作溫度：0 - +40 °C、 保證性能溫度：+10 - +35 ℃ | ||||||||||||||||||||||
集電極電源CS-3100，CS-3200，CS-3300功能
觀察I-V曲線以及電壓和電流的應用波形
電流和電壓脈沖在高電流模式下的應用
應用電流和電壓的脈沖寬度以及測量點額定可設定為50 - 400 μs之間（CS-3200和CS-3300）。
MOSFET“電流"和“電壓"特性測量示例
可選擇“掃描類別"(SWEEP TYPE)
“掃描類別"包括“下"(DOWN)、“上"(UP)和“定制"(CUSTOM)（所有模式）。
如“定制"模式，可以掃描值之間的范圍。
CS-800半導體參數搜索（可選）
該主控裝置軟件選項支持電壓和電流限制功能，以及自動Vth測量功能。
限制掃描(LIMIT SWEEP)
如果在“掃描"操作前了電壓和電流限值，操作會在超過限值后的下一個測量點停止執行。
Vth和hFE設置
Vth和hFE可以自動測量。
Vth自動測量示例。
遠程工具
如果因安全原因不允許使用USB存儲器，可以通過局LAN將屏幕截圖、CSV格式測量結果及其他數據直接傳輸到個人電腦上。
免費提供遠程操作軟件。但使用該軟件時必須安裝NI VISA庫（需要收費）。
CS-810半導體參數測量（選件）
這是一款電腦應用程序，用于通過局域網將配有CS-800的主控裝置連接到個人電腦上（可選）。該應用程序可以根據個人電腦的測量條件進行自動測量，并確定數據的正確性。
CS-3100，CS-3200，CS-3300面板介紹
1顯示屏
8.4英寸亮麗屏可以顯示詳細的波形情況。采用大尺寸屏幕，可以顯示菜單和參數而不影響波形網格。
2連接性
CS-3000系列前面板上配有USB端口，方便生成報告。按下復制（Copy）按鈕即可將屏幕截圖保存到USB設備。
3讀出顯示屏
讀出顯示屏采用不同顏色代表不同功能，操作設置一目了然。
4斷路器
前面板上分別提供高電壓（所有型號）和高電流（CS-3200/3300）斷路器。
5菜單操作
使用功能旋鈕和功能鍵來操作菜單。
6復制(COPY)按鈕
7配置(CONFIGURATION)按鈕
用于顯示連接和信號應用狀態。
8階梯發生器
使用該旋鈕可以設置步進和偏移。
9查看/脈沖(VIEW/PULSE)按鈕
用于切換跟蹤(TRACE)與波形(WAVE)視圖。
在波形視圖下，屏蔽顯示應用電壓和電流的時間軸波形，常規曲線跟蹤器無法觀察到這種波形。
10垂直(VERTICAL)和水平(HORIZONTAL)旋鈕
這些旋鈕安裝在易于操作的地方。
11變量(VARIABLE)旋鈕
用于調節集電極電源的輸出電壓。
采用耐用型旋鈕適合頻繁使用。
